Low-Temperature Solid Phase Epitaxial Regrowth of Silicon for Stacked Static Random Memory Application

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-01, Vol.50 (1S1), p.1
Hauptverfasser:	Lee, Kong-Soo, Yeo, Chadong, Yoo, Dae-Han, Kim, Seok-Sik, Moon, Joo-Tae, Jung, Soon-Moon, Son, Yong-Hoon, Park, Hyunho, Jeong, Hanwook, Kim, Kwang-Ryul, Choi, Byoungdeog
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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