Wet Etching of TiO 2 -Based Precursor Amorphous Films for Transparent Electrodes
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 2011-01, Vol.50 (1R), p.18002 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.7567/JJAP.50.018002 |