Theoretical Distribution of Deposited Film Thickness on Rotating Substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1974-01, Vol.13 (S1), p.A857
1. Verfasser:	Kawashtmo, Y.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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