Vapourized-Metal Cluster Ion Source for Ion Plating

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1974-01, Vol.13 (S1), p.427
Hauptverfasser:	Takagi, Toshinori, Yamada, Isao, Yanagawa, Kouichi, Kunori, Masatoshi, Kobiyama, Shigemitsu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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