High Packing Density, High Speed CMOS (Hi-CMOS) Device Technology

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1979-01, Vol.18 (S1), p.73
Hauptverfasser:	Sakai, Yoshio, Masuhara, Toshiaki, Minato, Osamu, Hashimoto, Norikazu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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