Selective layer disordering in intersubband Al 0.028 Ga 0.972 N/AlN superlattices with silicon nitride capping layer
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Veröffentlicht in: | Applied physics express 2015-06, Vol.8 (6), p.61004 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1882-0778 1882-0786 |
DOI: | 10.7567/APEX.8.061004 |