Impact of deposition pressure and two-step growth technique on the photoresponsivity enhancement of polycrystalline BaSi 2 films formed by sputtering

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Veröffentlicht in:Applied physics express 2019-02, Vol.12 (2), p.21004
Hauptverfasser: Matsuno, Satoshi, Nemoto, Taira, Mesuda, Masami, Kuramochi, Hideto, Toko, Kaoru, Suemasu, Takashi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1882-0778
1882-0786
DOI:10.7567/1882-0786/aafc70