Structural analysis of hydrogenated amorphous carbon nitride films formed from the decomposition of CH 3 CN in the microwave discharge flow of Ar

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2019-06, Vol.58 (SE), p.SEED02
Hauptverfasser:	Ito, Haruhiko, Sekizaki, Chitose, Fukuhara, Sho, Saitoh, Hidetoshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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