Mapping of a Ni/SiN x /n-SiC structure using scanning internal photoemission microscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2019-04, Vol.58 (SB), p.SBBC02
Hauptverfasser: Shiojima, Kenji, Hashizume, Takanori, Sato, Masaru, Takeyama, Mayumi B.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/1347-4065/aafd99