Site-Specific Atomic and Electronic Structure Analysis of Epitaxial Silicon Oxynitride Thin Film on SiC(0001) by Photoelectron and Auger Electron Diffractions

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Physical Society of Japan 2014-04, Vol.83 (4), p.44604
Hauptverfasser:	Maejima, Naoyuki, Matsui, Fumihiko, Matsui, Hirosuke, Goto, Kentaro, Matsushita, Tomohiro, Tanaka, Satoru, Daimon, Hiroshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!