Adjustable Resonance Frequency of RF-MEMS Capacitor by Using Comb- Drive Actuators: A Design Approaches

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Makara Journal of Technology (online) 2014-10, Vol.18 (2), p.59
Hauptverfasser:	Santoso Tamsir, Agus, Tannu Wijaya, Sandy, Yeop Majlis, Dato’ Burhanuddin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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