Effect of Dry Oxidation and Thermal Annealing on AlN/GaN/AlN/Si (111) and Evaluation of its Electrical Characteristics
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Makara journal of science 2021-12, Vol.25 (4) |
|---|---|
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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