Structural Scheme of Information System for Defect Engineering of Dislocation-free Silicon Single Crystals

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Science and technology (Rosemead, Calif.) Calif.), 2012-12, Vol.2 (5), p.130-134
Hauptverfasser:	I. Talanin, V., E. Talanin, I., Ph. Ustimenko, N.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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