Virtual Metrology Modeling for CVD Film Thickness

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of control science and engineering 2012-08, Vol.2 (3), p.26-33
Hauptverfasser:	Besnard, Jérôme, Gleispach, Dietmar, Gris, Hervé, Ferreira, Ariane, Roussy, Agnès, Kernaflen, Christelle, Hayderer, Günter
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!