Electrical and Optical Characteristics of Wide Pressure-Range Capacitive Coupled RF Discharge

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Al-Azhar Bulletin of Science - Basic Science Sector 2023-01, Vol.34 (2)
Hauptverfasser:	Ibrahim, Diaa, Garamoon, Abdou, Elakshar, Farouk, Alsharif, Ashraf
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!