HF-HNO3-H2SO4/H2O Mixtures for Etching Multicrystalline Silicon Surfaces: Formation of NO2+, Reaction Rates and Surface Morphologies

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Zeitschrift für Naturforschung. B, A journal of chemical sciences A journal of chemical sciences, 2011-02, Vol.66, p.155
Hauptverfasser:	Lippold, M., Patzig-Klein, S., Kroke, E.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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