Introduction of a New Baffle-Plate Concept to Control the Gas Flow Behavior in a Large Volume PECVD Chamber

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Open journal of fluid dynamics (Irvine, CA) CA), 2018, Vol.8 (2), p.141-160
Hauptverfasser:	Simiema de Freitas Barbosa, Gustavo, Vissing, Klaus, Mayer, Bernd
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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