Creation and Evaluation of Construction Guidelines Using CFD for Low Pressure Plasma Gas Feed-in Systems to Homogenize the Precursor Gas Flow

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Open journal of fluid dynamics (Irvine, CA) CA), 2016, Vol.6 (4), p.391-405
Hauptverfasser:	Barbosa, Gustavo Simiema de Freitas, Vissing, Klaus, Mayer, Bernd
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!