Characterisation of Thin Films Using a Coherence Scanning Interferometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of materials science and chemical engineering 2015, Vol.3 (1), p.15-21
Hauptverfasser:	Yu, Yang, Mansfield, Daniel
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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