Field Electron-Emission from a-CN x :H Films Formed on Al Films Using Supermagnetron Plasma CVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of modern physics 2015, Vol.6 (11), p.1602-1608
Hauptverfasser:	Kinoshita, Haruhisa, Suzuki, Sho, Taguchi, Ryouhei, Takeuchi, Hiroki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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