Properties of Titanium Oxynitride Prepared by RF Plasma

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Advances in chemical engineering and science 2015, Vol.5 (1), p.1-14
Hauptverfasser:	El-Hossary, Fayez M., Negm, Niemat Z., Abd El-Rahman, Ahmed M., Raaif, Mohamed, Abd Elmula, Alzahraa A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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