Evaluation of Hindrance to the Growth of SiN Passivation Layer by Contamination of Fluoride Ions in Front Opening Unified Pod (FOUP)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Aerosol and Air Quality Research 2015-10, Vol.15 (5), p.2175-2183
Hauptverfasser:	Song, Gil Joo, Hwang, Sung Min, Koo, Soo Jong, Kim, Hyoung Ryeun, Jang, Hee Chang, Hong, Jeong Hoon, Park, Hyun Yul, Choi, Euiji, Kim, Jin Young, Noh, Tae Yong, Lee, Eungsun, Yoo, Seoung-Kyo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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