Dynamic Analysis on Particle Concentration Induced by Opening the Door of a Front Opening Unified Pod (FOUP) That Loaded with 25 Pieces of 300 mm Wafer Manufacturing Processes

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Aerosol and air quality research 2009, Vol.9 (1), p.139-148
Hauptverfasser:	Hu, Shih-Cheng, Ku, Chen-Wei, Shih, Yang-Cheng, Hsu, Kwen
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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