Direct Patterning with Femtosecond Laser for Fabricating Ge2Sb2Te5 Stamps and Imprinting of UV Resins

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of Material Science & Engineering 2015, Vol.5 (1)
1. Verfasser:	Cheng PY, Lin CB
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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