Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Mass Production System for Optical Disc and DVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Hyōmen gijutsu 1997, Vol.48 (11), p.1065-1069
Hauptverfasser: OHTA, Atsushi, IGARASHI, Hideo, KISE, Toshihiko, NAGASAWA, Shoji
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0915-1869
1884-3409
DOI:10.4139/sfj.48.1065