Special issue. Preparation of new functional materials by dry process. Formation of TiAlN film by sputter ion plating

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Hyōmen gijutsu 1990, Vol.41 (5), p.490-494
Hauptverfasser:	HATTORI, Kohji, MAEHARA, Hiroshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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