Structure and properties of nanostructured ZrN coatings obtained by vacuum-arc evaporation using RF discharge

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nanotechnology perceptions 2018-10, Vol.14 (3), p.167-177
Hauptverfasser:	Taran, A., Garkusha, I., Taran, V., Muratov, R, Starikov, V, Baturin, A, Skoblo, T, Romaniuk, S, Mamalis, A.G.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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