Transparent conductive ITZO films deposited by a magnetron co-sputtering system using two cathodes
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Journal of the Korean Physical Society 2009-11, Vol.55 (5(1)), p.1901-1905 |
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| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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