Transparent conductive ITZO films deposited by a magnetron co-sputtering system using two cathodes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Korean Physical Society 2009-11, Vol.55 (5(1)), p.1901-1905
1. Verfasser:	KANG, Yong-Min
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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