Measurements of the Time Evolution of the Electron Density with a Cutoff Probe in a Pulsed RF Plasma

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Korean Physical Society 2007-09, Vol.51 (3), p.963
Hauptverfasser:	Kim, Jung-Hyung, Seong, Dae-Jin, Shin, Yong-Hyeon
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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