Characteristics of Poly-SiGe Thin Films Prepared at Low Temperatures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Korean Physical Society 2007-09, Vol.51 (3), p.1134
Hauptverfasser:	Lee, Jung-Hui, Choi, Byoung-Jung, Yang, Sung-Chae
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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