Deposition and Characterization of Ru Thin Films Prepared by Metallorganic Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Korean Physical Society 2000-12, Vol.37 (6), p.1040
Hauptverfasser:	Sang Yeol, Kang, Kook Hyun, Choi, Seok Kiu, Lee, Cheol Seong, Hwang, Hyeong Joon, Kim
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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