Metal-Assisted Electrochemical Nanoimprinting of Porous and Solid Silicon Wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of visualized experiments 2022-02 (180)
Hauptverfasser: Sharstniou, Aliaksandr, Niauzorau, Stanislau, Junghare, Ashlesha, Azeredo, Bruno P.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1940-087X
1940-087X
DOI:10.3791/61040-v