Focused Ion Beam Lithography to Etch Nano-architectures into Microelectrodes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of visualized experiments 2020-01 (155)
Hauptverfasser: Mahajan, Shreya, Sharkins, Jonah A., Hunter, Allen H., Avishai, Amir, Ereifej, Evon S.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1940-087X
1940-087X
DOI:10.3791/60004-v