Niobium Oxide Films Deposited by Reactive Sputtering: Effect of Oxygen Flow Rate

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of visualized experiments 2019-09 (151)
Hauptverfasser: Fernandes, Silvia L., Affonço, Lucas J., Junior, Roberto A. R., da Silva, José H. D., Longo, Elson, Graeff, Carlos F. de O.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1940-087X
1940-087X
DOI:10.3791/59929-v