Controllable generation of large-scale highly regular gratings on Si films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Light: advanced manufacturing 2021, Vol.2 (3), p.273
Hauptverfasser:	Geng, Jiao, Fang, Xiaoguo, Zhang, Lei, Yao, Guangnan, Xu, Liye, Liu, Fengjiang, Tang, Weiwei, Shi, Liping, Qiu, Min
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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