Model-based characterisation of complex periodic nanostructures by white-light Mueller-matrix Fourier scatterometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Light: advanced manufacturing 2021, Vol.2 (2), p.1
Hauptverfasser:	Gödecke, Maria Laura, Frenner, Karsten, Osten, Wolfgang
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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