Combined effect of mass and stiffness on the dynamics of a double-layered microcantilever

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics express 2021-07, Vol.14 (7), p.75004
Hauptverfasser:	Cho, Hyunjung, Park, Yunhee, Kouh, Taejoon
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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