Pulse Laser Deposition of HfO2 Nanoporous-Like Structure, Physical Properties for Device Fabrication
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Veröffentlicht in: | Journal of renewable materials 2022, Vol.10 (11), p.2819-2834 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 2164-6341 |
DOI: | 10.32604/jrm.2022.021609 |