An investigation of improved titanium/titanium nitride barriers for submicron aluminum-filled contacts by energy-filtered transmission electron microscopy: Dedicated to Professor Dr. Knut Urban on the occasion of his 65th birthday

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of materials research 2006-07, Vol.97 (7), p.1037-1040
Hauptverfasser:	Rucki, Andreas, Robl, Werner
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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