Hydrophilicity of Hydro-oxygenated Amorphous TiOx Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 2003, Vol.46 (2), p.105-110
Hauptverfasser:	NAKAMURA, Masatoshi, SIRGHI, Lucel, AOKI, Toru, HATANAKA, Yoshinori
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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