Dry Pump. Roots Dry Vacuum Pump Made of Aluminum Cast Alloy and Reactive Gas Pumping

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 2000, Vol.43 (5), p.564-571
Hauptverfasser:	AIKAWA, Junichi, KANKE, Yukio, YUYAMA, Junpei
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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