Vacuum Nanotechnology. Synthesis of New Materials and Characterization of Surfaces and Interfaces. Cluster Ion Implantation and Device Processes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 1998, Vol.41 (11), p.932-939
Hauptverfasser:	YAMADA, Isao, MATSUO, Jiro, TOYODA, Noriaki, AOKI, Takaaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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