Negative Ion Beams and Plasmas. A New Machine for Materials Synthesis Using Positive and Negative Ion Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 1995, Vol.38 (11), p.929-934
Hauptverfasser:	FUJII, Kanenaga, HORINO, Yuji, TSUBOUCHI, Nobuteru, CHAYAHARA, Akiyoshi, KINOMURA, Atsushi
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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