Synthesis of AlN Thin Films by ECR Microwave Plasma Sputtering Method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 1993, Vol.36 (3), p.353-356
Hauptverfasser:	KAMIJO, Eiji, KUMASHIRO, Yoshimasa
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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