Design of Evaluating Apparatus of Outgassing Phenomena and Fundamental Operating Characteristics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:SHINKU 1988/05/20, Vol.31(5), pp.355-358
Hauptverfasser: OHNO, Morifumi, NAGATORO, Yuukou, KITANO, Ryu-ichi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0559-8516
1880-9413
DOI:10.3131/jvsj.31.355