Zr-N Films Sputter Deposited in Pure Nitrogen

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 1987/05/20, Vol.30(5), pp.367-370
Hauptverfasser:	YOSHITAKE, Masaaki, OGAWA, Soichi, TAKIGUCHI, Katsumi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!