Production of TiN Films by L-Coupled Type HF Sputtering System

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 1985/05/20, Vol.28(5), pp.412-414
Hauptverfasser:	YAMASHITA, Mutsuo, YAMANISHI, Hitoshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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