Measurements of Thickness and Sputtering Yields of Thin Films Using a SAW Device

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 1982/04/20, Vol.25(4), pp.249-252
Hauptverfasser:	YAMASHITA, Masaya, BABA, Shigeru, KINBARA, Akira
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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