Copper Filling of Deep Submicrometer Trenches with Cobalt-Lined Barrier Metal Produced by High-Vacuum Magnetron Sputtering by Using supercritical Carbon Dioxide Method

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Shinkū 2012, Vol.55 (5), p.237-240
Hauptverfasser:	OHNO, Yasunori, ITOH, Masatoshi, NUMAKAWA, Tomonori, KAMIUTTANAI, Kota, OTAKE, Katsuto, SAITO, Shigeru
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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